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光電輪廓儀

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 上海精密科學儀器-物理光學儀器

 WGL光電輪廓儀  市場報價:98000元

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光電(dian)輪廓(kuo)儀(yi)的(de)(de)應(ying)用(yong)范圍很廣,它(ta)主要(yao)用(yong)于(yu)測(ce)量(liang)各種精(jing)(jing)(jing)密加工(gong)零(ling)件(jian)表面的(de)(de)微觀(guan)三(san)維結(jie)構,如表面粗(cu)糙度(du);零(ling)件(jian)表面的(de)(de)刻(ke)(ke)線(xian);刻(ke)(ke)槽的(de)(de)深度(du)和(he)(he)鍍層的(de)(de)厚(hou)度(du)等(deng)。具體(ti)地說(shuo),如量(liang)塊、光學零(ling)件(jian)表面的(de)(de)粗(cu)糙度(du);標尺、度(du)盤(pan)的(de)(de)刻(ke)(ke)線(xian)深度(du);光柵的(de)(de)槽形(xing)結(jie)構;鍍層厚(hou)度(du)和(he)(he)鍍層邊(bian)界(jie)處(chu)的(de)(de)結(jie)構形(xing)貌;磁(ci)(光)盤(pan)、磁(ci)頭表面結(jie)構測(ce)量(liang);硅片表面粗(cu)糙度(du)及其上圖形(xing)結(jie)構測(ce)量(liang)等(deng)等(deng)。由于(yu)儀(yi)器(qi)測(ce)量(liang)精(jing)(jing)(jing)度(du)高(gao),重復性好,具有非接觸和(he)(he)三(san)維測(ce)量(liang)等(deng)特點,并采(cai)用(yong)計(ji)算機控制和(he)(he)快速分析、計(ji)算測(ce)量(liang)結(jie)果,本儀(yi)器(qi)適(shi)用(yong)于(yu)各級測(ce)試(shi)、計(ji)量(liang)研究(jiu)單位,工(gong)礦企業計(ji)量(liang)室,精(jing)(jing)(jing)密加工(gong)車(che)間和(he)(he)高(gao)等(deng)院校及科(ke)學研究(jiu)單位等(deng)。  
   

產品簡介

儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;
應用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質量;
用低壓電源代替高壓電源,節省了儀器成本;
用國產的代替德國進口壓電陶瓷,解決了關鍵部件的進口難題;
增加了自動步距和亮度校正程序,同時增加了局部放大三維立體圖功能;

表面微觀不平深度測量范圍:130?1nm
測量的重復性:sRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40X
數值孔徑:0.65
儀器視場 目視:f0.25mm
攝象:0.13X0.13mm
儀器放大倍數 目視:500X
攝象(計算機屏幕觀察):2500X
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2X5.2?m

 

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